项目
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描述
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垂直量程
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±25μm、±200μm
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系统分辨率
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满量程8纳米
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显示分辨率
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0.001μm
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针尖半径
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2μm或5μ
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滤波方式
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GAUSS、2RC、ISO13565
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标准
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IOS1997、ANSI、JIS2001
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取样长度L/驱动速度Vt
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L=0.08mm/Vt=0.25mm/s
L=0.25mm/Vt=0.25mm/s L=0.8mm/Vt=0.5mm/s L=2.5mm/Vt=1mm/s 返程速度为1mm/s |
评定长度Ln
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Ln=(1-5)L
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示值误差/示值重复性
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10%/6%
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测量参数
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Ra、Rp、Rv、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr1、A1、A2
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工作环境
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温度:0℃ ~ 40℃
湿度:< 90% RH |
存储环境
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外形尺寸和重量
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156×75×53mm,760g
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传感器驱动套
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29×26×120mm
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标准配置
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主机、传感器、驱动器、充电器、样块
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可选附件
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其他传感器、测量平台
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